測(cè)量顯微鏡的測(cè)量可以是單軸的、維度平面的測(cè)量也可以是維度空間坐標(biāo)的測(cè)量衡量的時(shí)候先專注，拿分，再算罰分。讀數(shù)來源于標(biāo)尺，即光柵系統(tǒng)，調(diào)焦和準(zhǔn)直依賴于光學(xué)系統(tǒng)，還有一個(gè)照明光源，它單純影響測(cè)量效果和精度，因?yàn)槿绻趫D像技能測(cè)量的儀器不能有效正確照明，測(cè)量結(jié)果就會(huì)明顯偏離其真實(shí)尺寸。除上述因素外，情境前提也是限制測(cè)量精度的一個(gè)不可忽視的因素。

基于以上分析，我們可以綜合以下誤差來源：

光柵計(jì)數(shù)尺的誤差；

工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)的直線度、角擺帶來的誤差；

工作臺(tái)兩個(gè)測(cè)量軸垂直度誤差；

顯微鏡光軸與工作臺(tái)不垂直引起的誤差；

由于測(cè)量的室溫與校準(zhǔn)所需的參考溫度存在偏差而導(dǎo)致的誤差；

光源照明前提變化引起的聚焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。

在這些因素中，前段所說的誤差是硬件誤差，在儀器生產(chǎn)過程中已經(jīng)形成并固定下來，無法改變，必須通過控制測(cè)量室的溫度和等溫過程來減小溫度影響引起的誤差。后一個(gè)術(shù)語經(jīng)常被忽略在實(shí)際測(cè)量中，當(dāng)光源的照明前提發(fā)生變化時(shí)，被測(cè)工件的照明效果和圖像質(zhì)量都會(huì)受到影響重要原因是測(cè)量顯微鏡的圖像是通過CCD繪制的，雖然CCD有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的作用，但當(dāng)亮度過高時(shí)，它未能起到調(diào)節(jié)作用，導(dǎo)致被測(cè)工件的圖像縮小，而當(dāng)亮度過低時(shí)，工件的圖像變大。

在測(cè)量具有重復(fù)圖案的布局之間的距離時(shí)，只要在整個(gè)測(cè)量過程中照明前提保持不變，就可以忽略這種影響，因?yàn)槊總€(gè)重復(fù)的圖案布局同時(shí)變大或變小，距離的測(cè)量簡(jiǎn)單地忽略了圖像變形的影響，例如測(cè)量一個(gè)玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情況，比如測(cè)量圓的直徑、工件的長(zhǎng)度和寬度都會(huì)帶來明顯的誤差。

用圖像測(cè)量工件樣圖的幾何尺寸時(shí)，光照前提的變化會(huì)簡(jiǎn)單地測(cè)量圖像的測(cè)量尺寸，比如線寬、圓直徑等幾何位置都是次要的，因?yàn)榈玫降倪吔琰c(diǎn)就是產(chǎn)品需求檢驗(yàn)的邊界在高精度測(cè)量中，這是導(dǎo)致測(cè)量不確定度增加的一個(gè)環(huán)節(jié)因素，應(yīng)該引起足夠的重視。